ZhenAn, ¿cuáles son los métodos básicos que se utilizan comúnmente para las pruebas de grano del material objetivo?

ZhenAn, ¿cuáles son los métodos básicos que se utilizan comúnmente para las pruebas de grano del material objetivo?

Los materiales objetivo suelen ser policristalinos, con tamaños de grano que van desde micras hasta milímetros. Cuanto más finos sean los granos, mayor será el área límite del grano y mayor será el impacto en el rendimiento. Para el mismo material objetivo, los objetivos con granos finos tienen una velocidad de pulverización más rápida que los objetivos con granos gruesos. Los objetivos con variaciones de tamaño de grano más pequeñas (distribución uniforme) producen distribuciones de espesor más uniformes en películas pulverizadas. Las investigaciones han descubierto que si el tamaño de grano de un objetivo de titanio se controla por debajo de 100 μm y la variación en el tamaño de grano se mantiene dentro del 20%, se puede mejorar la calidad de la película pulverizada resultante. Mejora significativa.

Tres métodos básicos para la prueba del tamaño de grano objetivo
1. Método de comparación: el método de comparación no requiere contar granos ni intersecciones. Cuando se compara con una serie estándar de tablas de clasificación, la evaluación del tamaño de grano utilizando el método de comparación generalmente muestra un cierto grado de desviación (±0,5 niveles). La reproducibilidad y la reproducibilidad de los valores evaluados suelen ser de ±1 nivel.

2. Método de área: El método de área cuenta la cantidad de granos dentro de un área conocida y utiliza la cantidad de granos por unidad de área para determinar el grado de tamaño de grano. La precisión de este método es función del tamaño de grano calculado y, con un conteo adecuado, se puede lograr una precisión de ±0,25 niveles. Los resultados del método del área son insesgados, con una reproducibilidad inferior a ±0,5 niveles. La clave para determinar el tamaño de grano mediante el método del área radica en contar los granos de forma que demarquen claramente los límites de los mismos.

3. Método de intercepción: el recuento de intersecciones se calcula contando el número de intersecciones donde un segmento de línea de prueba (o cuadrícula) de longitud conocida intersecta los límites de los granos. El grado de tamaño de grano se determina utilizando el número de intersecciones por unidad de longitud. La precisión del método de intercepción es función del número de intersecciones o intercepciones calculadas y se puede lograr mediante un análisis estadístico eficaz. Precisión de nivel ±0,25. Los resultados de la medición del método de intercepción están libres de sesgos-y la reproducibilidad y la reproducibilidad son inferiores al nivel de ±0,5. Para obtener el mismo nivel de precisión, el método de intersección no requiere marcar con precisión los puntos de intersección o los números de intersección, por lo que es más rápido que el método de área.